YS/T 24-1992 外延钉缺陷的检验方法
作者:标准资料网 时间:2024-05-03 17:21:06 浏览:9783
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基本信息
标准名称: | 外延钉缺陷的检验方法 |
中标分类: | 冶金 >> 半金属与半导体材料 >> 半金属与半导体材料综合 |
ICS分类: | 电气工程 >> 半导体材料 |
发布部门: | 中国有色金属工业总公司 |
发布日期: | 1992-03-09 |
实施日期: | 1993-01-01 |
首发日期: | |
作废日期: | |
提出单位: | 中国有色金属工业总公司标准计量研究所 |
起草单位: | L海有色金属研究所 |
起草人: | 施海青、金胜祖 |
出版日期: | 1993-01-01 |
页数: | 2页 |
适用范围
本标 准 规 定了外延钉缺陷的检验方法
本标 准 适 用于任何直径与晶向的硅外延片上高度不小于4,u m 的钉缺陷存在与否的判断。如果钉缺陷比少且 彼此不相连,本标准可用十钉缺陷的汁数。本标 准 不 能测量钉缺陷的高度
前言
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目录
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引用标准
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所属分类: 冶金 半金属与半导体材料 半金属与半导体材料综合 电气工程 半导体材料
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